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激光干涉光刻机
品 牌 ：InterLitho
型 号 ：VIL1000
产 地 ：HONG KONG
关键词 ：干涉，光刻机
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VIL系列纳米图形系统（激光干涉光刻机）具有快速可重构光束传输、主动图形稳定和精确样品定位等强大功能。该系统可以通过使用标准2cm×2cm正方形或用户定义形状的图案场进行重复曝光，在8英寸大面积上产生多种纳米结构，例如1D光栅线和2D柱/孔图案，周期从240 nm到1500 nm。