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可用等离子清洗残留有机物,降低场域变化,可承受温度>1000℃用于高温下观察环境透射电镜,可承受恶劣的沉积&化学条件在成像分辨率和机械强度上提供理想的平衡,采用低压CVD,低应力,提供平整、绝缘、疏水性的平面。
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