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AFM校准标样
品 牌 :复合
型 号 :多种
产 地 :瑞士
关键词 :AFM校准标样



 

型号

规格

TGZ系列Z向校准标样,TGZ1/TGZ2/TGZ3/TGZ4/TGS1Z轴校准及非线性校准

Si 基底,结构在SiO2

周期:3±0.1 µm尺寸:5x5x0.5 mm有效区域:中心:3x3 mm

可选配:PTB可溯源证书

TGZ1

20.0±1.5 nmHeight

TGZ2

110±2 nmHeight

TGZ3

520±3 nmHeight

TGZ4

1517± 20nmHeight

TGT1SPM针尖3-D校准标样NT-MDT,针尖形状,曲率半径校准,尖端降解/污染检测

Si 基底

周期:3±0.05 µm尺寸:5x5x0.5 mm有效区域:中心:2x2mm

TGT1

尖端尺寸:角度:50+-10°,半径:<=10nm,高度:0.3-0.5µm

TGG1SPM XY方向校准标样

SPM XY方向校准,扫描器横向垂直方向非线性检测,角度畸变检测,针尖表征

Si 基底

周期:3±0.05 µm尺寸:5x5x0.5 mm有效区域:中心:3x3mm

TGG1

1-D 三角台阶标样,精确的线性,角度

边缘角度70°,边缘半径:≤10nm

TGX1SPM横向校准,针尖高长径比

扫描器横向检测 横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应的检测 针尖长径比标定

Si 基底

周期:3±0.05 µm尺寸:5x5x0.5 mm有效区域:中心:3x3mm

TGX1

棋盘状的方柱阵列,具有锋利的咬边

高度:~0.6 µm,边缘半径:≤10nm

TipCheck

SPM针尖形状校准标样,Budgetsensors,针尖形状,曲率半径校准,尖端降解/污染检测

尺寸:5x5x0.3 mm有效区域:中心:5x5mm

TipCheck

Tipcheck金字塔纳米结构

50-100nm高度,50-100nm底部宽度

小边缘:≤5nm

SHS系列台阶标样:SHS系列台阶标样

Si 基底,多种结构复合:圆、长条、方形

基底尺寸:8.0x8.2x0.5 mm

SHS-01

结构材质:SiO2,高度:100nm

SHS-1

结构材质:SiO2,高度:1000nm

STEP-OX-0.1

结构材质:SiO2,镀层材质:Cr,高度:100nm

STEP-OX-0.2

结构材质:SiO2,镀层材质:Cr,高度:100nm

STEP-OX-0.5

结构材质:SiO2,镀层材质:Cr,高度:500nm

STEP-OX-1

结构材质:SiO2,镀层材质:Cr,高度:1000nm

STEP-Si-5

结构材质:Si,高度:5000nm

STEP-Si-10

结构材质:Si,高度:10000nm

STEP-Si-25

结构材质:Si,高度:25000nm

PA01

SPM针尖形状校准标样,针尖形状,曲率半径校准,尖端降解/污染检测

尺寸:5x5x0.3 mm有效区域:中心:5x5mm

PA01

PA 01金字塔纳米结构

50-100nm高度,50-100nm底部宽度

小边缘:≤5nm

TGF11 SPM扫描器垂直方向非线性检测

扫描器垂直方向非线性检测,横向力校准,带小球硅针尖悬臂校准

尺寸:5x5x0.3 mm有效区域:中心:3x3mm

TGF11

TGF11梯形结构,54.74°

高度:1.75µm周期:10±0.1 µm

HS-MG系列标样,HS-20MG/HS-100MG/HS-500MGZ轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底,结构在SiO2层,不同结构阵列,周期:5&10µm尺寸:5x5 mm

圆柱/孔:500 µm x500 µm线条: 500 µm x500 µm方柱/孔:1 x1mm

HS-20MG

20 nmHeight

HS-100MG

100 nmHeight

HS-500MG

500 nmHeight

CS-20NG系列标样,Z轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底,结构在SiO2层,不同结构阵列尺寸:5x5 mm

圆柱/孔:(500nm pitch100 µm x100 µm线条:(5 µm pitch) 500 µm x500 µm方柱/孔:(10µm pitch)1 x1mm

CS-20MG

20 nmHeight

TGXSPM横向校准,针尖高长径比,扫描器横向检测,横向非线性、滞后、蠕变和交叉耦合效应的检测

Si 基底,不同结构阵列尺寸:5x5 x0.3 mm边缘半径:5nm,周期3±0.1 µm

TGX

1µmHeight

TGXYZ系列标样:SPM Z轴校准及非线性校准及垂直横向扫描器校准

Si 基底,结构在SiO2层,不同结构阵列尺寸:5x5x0.3 mm

圆柱/孔:500 µm x500 µm线条:500 µm x500 µm方柱/孔:1 x1mm

TGXYZ01

20.0±2 nmHeight

TGXYZ02

100±3 nmHeight

TGXYZ03

500±3 nmHeight

TDG01XY方向校准,扫描器横向垂直方向非线性检测,角度畸变检测,针尖表征

Si 基底,镀Al,平行脊,尺寸:12.5mm直径,厚度:2.5mm,有效区域:9mm直径

TGX

>55nmHeight

 

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